
| Mahsulot | Texnik mulk | ||
| Sof kislorod | Yuqori tozalikdagi kislorod | Ultra toza kislorod | |
| Kislorod (O)2) soflik (hajm ulushi)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Vodorod (H)2) tarkib (hajm ulushi)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Argon (Ar) miqdori (hajm ulushi)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Azot (N2) tarkib (hajm ulushi)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Karbonat angidrid (CO2)2) tarkib (hajm ulushi)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Umumiy uglevodorod miqdori (hajm ulushi) (metan bilan hisoblangan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
| Suv (H)2O) tarkib (hajm ulushi)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Qo'llanilish sohasi: asosan standart gaz aralashmasini tayyorlashda, ilmiy tadqiqotlarda, integral mikrosxemalar va yarimo'tkazgichli qurilmalar ishlab chiqarishda va kislorod tozaligiga yuqori talablarga ega bo'lgan boshqa sohalarda qo'llaniladi.