
| アイテム | 技術特性 | ||
| 純酸素 | 高純度酸素 | 超高純度酸素 | |
| 酸素(O2純度(体積分率)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| 水素(H2)含有量(体積比)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| アルゴン(Ar)含有量(体積比)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| 窒素(N2)含有量(体積比)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| 二酸化炭素(CO₂)2)含有量(体積比)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| 全炭化水素含有量(体積比)(メタン換算)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| 水(H)2O) 含有量(体積比)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
応用分野:主に標準ガス混合物の調製、科学研究、集積回路および半導体デバイスの製造、その他酸素純度に対する要求が高い分野で使用されます。