
| Тауар | Техникалық мүлік | ||
| Таза оттегі | Жоғары тазалықтағы оттегі | Ультра таза оттегі | |
| Оттегі (O)2) тазалық (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Аргон (Ar) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Азот (N)2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Көмірқышқыл газы (CO2)2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Жалпы көмірсутек мөлшері (көлемдік үлес) (метанмен есептелген)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Су (H2O) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Қолданылу саласы: негізінен стандартты газ қоспасын дайындауда, ғылыми зерттеулерде, интегралдық микросхемалар мен жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде және оттегі тазалығына жоғары талаптар қойылатын басқа да салаларда қолданылады.