
| Зүйл | Техникийн өмч | ||
| Цэвэр хүчилтөрөгч | Өндөр цэвэршилттэй хүчилтөрөгч | Хэт цэвэр хүчилтөрөгч | |
| Хүчилтөрөгч (O)2) цэвэршилт (эзлэхүүний фракц)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Устөрөгч (H2) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Аргон (Ar)-ийн агууламж (эзэлхүүний фракц)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Азот (N)2) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Нүүрстөрөгчийн давхар исэл (CO2)2) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Нийт нүүрсустөрөгчийн агууламж (эзэлхүүний фракц) (метанаар тооцоолсон)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Ус (H)2O) агууламж (эзлэхүүний фракц)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Хэрэглээний талбар: голчлон стандарт хийн хольц бэлтгэх, шинжлэх ухааны судалгаа, интеграл хэлхээ болон хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэх, хүчилтөрөгчийн цэвэршилт өндөр шаарддаг бусад салбарт ашигладаг.