
| Article | Propriété technique | ||
| Oxygène pur | Oxygène de haute pureté | Oxygène ultra-pur | |
| Oxygène (O2) pureté (fraction volumique)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
| Hydrogène (H2) contenu (fraction volumique)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Teneur en argon (Ar) (fraction volumique)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Azote (N2) contenu (fraction volumique)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Dioxyde de carbone (CO₂)2) contenu (fraction volumique)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Teneur totale en hydrocarbures (fraction volumique) (calculée par rapport au méthane)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Eau (H2O) teneur (fraction volumique)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Domaine d'application : principalement utilisé dans la préparation de mélanges gazeux standard, la recherche scientifique, la production de circuits intégrés et de dispositifs semi-conducteurs, et d'autres domaines exigeant une grande pureté en oxygène.