
| Barang | Hak Milik Teknis | ||
| Oksigen murni | Oksigen dengan kemurnian tinggi | Oksigen ultra murni | |
| Oksigen (O2) kemurnian (fraksi volume)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99,9999 |
| Hidrogen (H2) isi (fraksi volume)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Kandungan Argon (Ar) (fraksi volume)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Nitrogen (N2) isi (fraksi volume)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Karbon dioksida (CO2)2) isi (fraksi volume)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Kandungan hidrokarbon total (fraksi volume) (dihitung berdasarkan metana)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
| Air (H2O) kandungan (fraksi volume)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Bidang aplikasi: terutama digunakan dalam pembuatan campuran gas standar, penelitian ilmiah, produksi sirkuit terpadu dan perangkat semikonduktor, serta bidang lain yang membutuhkan kemurnian oksigen tinggi.