
| ລາຍການ | ຊັບສິນທາງດ້ານເຕັກນິກ | ||
| ອົກຊີເຈນບໍລິສຸດ | ອົກຊີເຈນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ | ອົກຊີເຈນບໍລິສຸດພິເສດ | |
| ອົກຊີເຈນ (O2) ຄວາມບໍລິສຸດ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| ໄຮໂດຣເຈນ (H2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| ປະລິມານອາກອນ (Ar) (ປະລິມານສ່ວນ)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| ໄນໂຕຣເຈນ (N)2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| ຄາບອນໄດອອກໄຊ (CO2)2) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| ປະລິມານໄຮໂດຄາບອນທັງໝົດ (ສ່ວນປະລິມານ) (ຄິດໄລ່ໂດຍມີເທນ)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| ນ້ຳ (H2O) ເນື້ອໃນ (ສ່ວນປະລິມານ)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
ຂົງເຂດການນຳໃຊ້: ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນການກະກຽມສ່ວນປະສົມອາຍແກັສມາດຕະຖານ, ການຄົ້ນຄວ້າວິທະຍາສາດ, ການຜະລິດວົງຈອນລວມ ແລະ ອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ແລະ ຂົງເຂດອື່ນໆທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດຂອງອົກຊີເຈນສູງ.