
| Ашё | Амволи техникӣ | ||
| Оксигени холис | Оксигени покизагии баланд | Оксигени ултра-тоза | |
| Оксиген (O)2) покӣ (ҳиссаи ҳаҷм)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Гидроген (H)2) мундариҷа (ҳиссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Миқдори аргон (Ar) (ҳиссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Нитроген (N)2) мундариҷа (ҳиссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Гази карбон (CO)2) мундариҷа (ҳиссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Миқдори умумии карбогидридҳо (ҳиссаи ҳаҷм) (бо метан ҳисоб карда шудааст)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Об (H)2O) мундариҷа (ҳиссаи ҳаҷм)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Соҳаи татбиқ: асосан дар тайёр кардани омехтаи стандартии газ, тадқиқоти илмӣ, истеҳсоли схемаҳои интегралӣ ва дастгоҳҳои нимноқил ва дигар соҳаҳое, ки ба тозагии оксиген талаботи баланд доранд, истифода мешавад.