
| Mục | Đặc tính kỹ thuật | ||
| Oxy tinh khiết | Oxy tinh khiết cao | Oxy siêu tinh khiết | |
| Oxy (O)2) độ tinh khiết (phần trăm thể tích)/10-2≥ | 99,995 | 99.999 | 99.9999 |
| Hydro (H)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Hàm lượng Argon (Ar) (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Nitơ (N)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Khí cacbonic (CO₂)2) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Tổng hàm lượng hiđrocacbon (phần trăm thể tích) (tính theo metan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Nước (H)2O) hàm lượng (phần trăm thể tích)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Lĩnh vực ứng dụng: chủ yếu được sử dụng trong việc chuẩn bị hỗn hợp khí tiêu chuẩn, nghiên cứu khoa học, sản xuất mạch tích hợp và thiết bị bán dẫn, và các lĩnh vực khác có yêu cầu cao về độ tinh khiết của oxy.