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शुद्ध ऑक्सीजन, उच्च शुद्धता वाली ऑक्सीजन, अति-शुद्ध ऑक्सीजन (O2)
| वस्तु | तकनीकी गुण | ||
| शुद्ध ऑक्सीजन | उच्च शुद्धता वाली ऑक्सीजन | अतिशुद्ध ऑक्सीजन | |
| ऑक्सीजन (O2शुद्धता (आयतन अंश)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| हाइड्रोजन (H2सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| आर्गन (Ar) की मात्रा (आयतन अंश)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| नाइट्रोजन (N2सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| कार्बन डाइऑक्साइड (CO₂)2सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| कुल हाइड्रोकार्बन सामग्री (आयतन अंश) (मीथेन द्वारा परिकलित)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| पानी (एच2O) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
अनुप्रयोग क्षेत्र: मुख्य रूप से मानक गैस मिश्रण की तैयारी, वैज्ञानिक अनुसंधान, एकीकृत सर्किट और अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन और ऑक्सीजन की शुद्धता के लिए उच्च आवश्यकताओं वाले अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।
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