
يُعرف رباعي فلورو الميثان، أو رباعي فلوريد الكربون، بأنه أبسط مركبات الفلوروكربون (CF4). يتميز بقوة ترابط عالية جدًا نظرًا لطبيعة الرابطة بين الكربون والفلور. يُصنف أيضًا ضمن الهالو ألكانات أو الهالوميثانات. وبسبب تعدد روابط الكربون-فلور، وارتفاع السالبية الكهربية للفلور، يحمل الكربون في رباعي فلورو الميثان شحنة جزئية موجبة كبيرة، مما يُقوي روابط الكربون-فلور الأربعة ويُقصرها، مُضيفًا إليها طابعًا أيونيًا إضافيًا. يُعد رباعي فلورو الميثان من غازات الدفيئة القوية.
يُستخدم رباعي فلورو الميثان أحيانًا كمبرد في درجات الحرارة المنخفضة. ويُستخدم في تصنيع الإلكترونيات الدقيقة بمفرده أو بالاشتراك مع الأكسجين كعامل حفر بالبلازما للسيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السيليكون.
| الصيغة الكيميائية | CF4 | الوزن الجزيئي | 88 |
| رقم CAS | 75-73-0 | رقم EINECS | 200-896-5 |
| نقطة الانصهار | -184 درجة مئوية | نقطة بولينج | -128.1 درجة مئوية |
| الذوبانية | غير قابل للذوبان في الماء | كثافة | 1.96 جم/سم³ (-184 درجة مئوية) |
| مظهر | غاز عديم اللون والرائحة وغير قابل للاشتعال وقابل للانضغاط | طلب | يستخدم في عملية الحفر بالبلازما لمختلف الدوائر المتكاملة، ويستخدم أيضًا كغاز ليزر، ومبرد، وما إلى ذلك. |
| رقم تعريف وزارة النقل | الأمم المتحدة 1982 | اسم الشحن لدى وزارة النقل/المنظمة البحرية الدولية: | رباعي فلورو الميثان، غاز مضغوط أو غاز تبريد R14 |
| فئة المخاطر التابعة لوزارة النقل الأمريكية | الفئة 2.2 |
| غرض | القيمة، الدرجة الأولى | القيمة، الدرجة الثانية | وحدة |
| نقاء | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | جزء في المليون |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | جزء في المليون |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | جزء في المليون |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | جزء في المليون |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | جزء في المليون |
| مركبات الفلوروكربون الأخرى | ≤1.0 | ≤0.5 | جزء في المليون |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | جزء في المليون |
| H2 | ≤1.0 | —— | جزء في المليون |
| حموضة | ≤0.1 | ≤0.1 | جزء في المليون |
| *تشير مركبات الفلوروكربون الأخرى إلى C2F6ج3F8 | |||
ملحوظات
1) جميع البيانات الفنية المذكورة أعلاه هي للاطلاع فقط.
2) نرحب بالمواصفات البديلة لمزيد من المناقشة.