ផលិតផល
កាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត
តេត្រាហ្វ្លុយអូរីត ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាកាបូនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីត គឺជាហ្វ្លុយអូរីតកាបូន (CF4) ដ៏សាមញ្ញបំផុត។ វាមានកម្លាំងចងខ្ពស់ណាស់ ដោយសារតែលក្ខណៈនៃចំណងកាបូន-ហ្វ្លុយអូរីន។ វាក៏អាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ជាហាឡូអាល់កែន ឬហាឡូមេតានផងដែរ។ ដោយសារតែចំណងកាបូន-ហ្វ្លុយអូរីនច្រើន និងអេឡិចត្រូនេហ្គាទីវីតេខ្ពស់បំផុតនៃហ្វ្លុយអូរីន កាបូននៅក្នុងតេត្រាហ្វ្លុយអូរីតមានបន្ទុកវិជ្ជមានដោយផ្នែកសំខាន់មួយ ដែលពង្រឹង និងធ្វើឱ្យចំណងកាបូន-ហ្វ្លុយអូរីនទាំងបួនខ្លី ដោយផ្តល់នូវលក្ខណៈអ៊ីយ៉ុងបន្ថែម។ តេត្រាហ្វ្លុយអូរីតគឺជាឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏មានឥទ្ធិពល។
តេត្រាហ្វ្លុយអូរ៉ូមេតាន ជួនកាលត្រូវបានគេប្រើជាសារធាតុត្រជាក់សីតុណ្ហភាពទាប។ វាត្រូវបានគេប្រើតែឯងនៅក្នុងការផលិតខ្នាតតូចផ្នែកអេឡិចត្រូនិច ឬរួមផ្សំជាមួយអុកស៊ីសែន ជាសារធាតុឆ្លាក់ប្លាស្មាសម្រាប់ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត និងស៊ីលីកុននីទ្រីត។
| រូបមន្តគីមី | CF4 | ទម្ងន់ម៉ូលេគុល | 88 |
| លេខ CAS | ៧៥-៧៣-០ | លេខ EINECS | ២០០-៨៩៦-៥ |
| ចំណុចរលាយ | -១៨៤អង្សាសេ | ចំណុចបូលីង | -១២៨.១អង្សាសេ |
| រលាយ | មិនរលាយក្នុងទឹក | ដង់ស៊ីតេ | ១.៩៦ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប (-១៨៤អង្សាសេ) |
| រូបរាង | ឧស្ម័នគ្មានពណ៌ គ្មានក្លិន មិនងាយឆេះ និងអាចបង្ហាប់បាន | ពាក្យសុំ | ប្រើក្នុងដំណើរការឆ្លាក់ប្លាស្មាសម្រាប់សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាផ្សេងៗ ហើយក៏ប្រើជាឧស្ម័នឡាស៊ែរ សារធាតុត្រជាក់ជាដើម។ |
| លេខសម្គាល់ DOT | អង្គការសហប្រជាជាតិឆ្នាំ១៩៨២ | ឈ្មោះដឹកជញ្ជូន DOT/IMO៖ | តេត្រាហ្វ្លុយអូរ៉ូមេតាន ឧស្ម័នបង្ហាប់ ឬឧស្ម័នទូរទឹកកក R14 |
| ថ្នាក់គ្រោះថ្នាក់ DOT | ថ្នាក់ទី ២.២ |
| វត្ថុ | តម្លៃ, ថ្នាក់ទី I | តម្លៃ ថ្នាក់ទី II | ឯកតា |
| ភាពបរិសុទ្ធ | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤៤.០ | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| ហ្វ្លុយអូរ៉ូកាបូនផ្សេងទៀត | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| ជាតិអាស៊ីត | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *ហ្វ្លុយអូរ៉ូកាបូនផ្សេងទៀតសំដៅទៅលើ C2F6,គ3F8 | |||
កំណត់ចំណាំ
១) ទិន្នន័យបច្ចេកទេសទាំងអស់ដែលបានបង្ហាញខាងលើគឺសម្រាប់ជាឯកសារយោងរបស់អ្នក។
២) លក្ខណៈបច្ចេកទេសជំនួសត្រូវបានស្វាគមន៍សម្រាប់ការពិភាក្សាបន្ថែម។
