Producten
Koolstoftetrafluoride
Tetrafluormethaan, ook bekend als koolstoftetrafluoride, is de eenvoudigste fluorkoolstof (CF4). Het heeft een zeer hoge bindingssterkte vanwege de aard van de koolstof-fluorbinding. Het kan ook worden geclassificeerd als een haloalkaan of halomethaan. Door de vele koolstof-fluorbindingen en de hoge elektronegativiteit van fluor heeft de koolstof in tetrafluormethaan een aanzienlijke positieve partiële lading. Deze lading versterkt en verkort de vier koolstof-fluorbindingen door extra ionisch karakter te geven. Tetrafluormethaan is een krachtig broeikasgas.
Tetrafluormethaan wordt soms gebruikt als koelmiddel bij lage temperaturen. Het wordt in de microfabricage van elektronica gebruikt, alleen of in combinatie met zuurstof, als plasma-etsmiddel voor silicium, siliciumdioxide en siliciumnitride.
| Chemische formule | CF4 | Moleculair gewicht | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS-nr. | 200-896-5 |
| Smeltpunt | -184℃ | Boling punt | -128,1℃ |
| oplosbaarheid | Onoplosbaar in water | Dikte | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
| Verschijning | Een kleurloos, geurloos, niet-ontvlambaar, samendrukbaar gas | Sollicitatie | Het wordt gebruikt bij het plasma-etsen van diverse geïntegreerde schakelingen, en ook als lasergas, koelmiddel, enz. |
| DOT-identificatienummer | VN1982 | DOT/IMO VERZENDNAAM: | Tetrafluormethaan, gecomprimeerd gas of koelmiddel R14 |
| DOT-gevarenklasse | Klasse 2.2 |
| Item | Waarde, klasse I | Waarde, klasse II | Eenheid |
| Zuiverheid | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andere fluorkoolwaterstoffen | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | — | ppmv |
| Zuurgraad | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andere fluorkoolwaterstoffen verwijzen naar C2F6,C3F8 | |||
Notities
1) Alle bovenstaande technische gegevens zijn ter referentie.
2) Alternatieve specificaties zijn welkom voor verdere discussie.
