
Tetrafluorometana, juga dikenali sebagai karbon tetrafluorida, ialah fluorokarbon (CF4) paling ringkas. Ia mempunyai kekuatan ikatan yang sangat tinggi disebabkan oleh sifat ikatan karbon-fluorin. Ia juga boleh dikelaskan sebagai haloalkana atau halometana. Disebabkan oleh pelbagai ikatan karbon-fluorin dan keelektronegatifan fluorin yang tertinggi, karbon dalam tetrafluorometana mempunyai cas separa positif yang ketara yang menguatkan dan memendekkan empat ikatan karbon-fluorin dengan memberikan ciri ionik tambahan. Tetrafluorometana ialah gas rumah hijau yang kuat.
Tetrafluorometana kadangkala digunakan sebagai bahan pendingin suhu rendah. Ia digunakan dalam mikrofabrikasi elektronik secara bersendirian atau digabungkan dengan oksigen sebagai pengukir plasma untuk silikon, silikon dioksida dan silikon nitrida.
| Formula kimia | CF4 | Berat molekul | 88 |
| No. CAS | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Takat lebur | -184℃ | Takat didih | -128.1℃ |
| keterlarutan | Tidak larut dalam air | Ketumpatan | 1.96g/cm³(-184℃) |
| Rupa | Gas yang tidak berwarna, tidak berbau, tidak mudah terbakar dan boleh dimampatkan | Permohonan | digunakan dalam proses pengukiran plasma untuk pelbagai litar bersepadu, dan juga digunakan sebagai gas laser, bahan pendingin dll. |
| Nombor ID DOT | PBB1982 | NAMA PENGHANTARAN DOT/IMO: | Tetrafluorometana, Gas Mampat atau Penyejuk R14 |
| Kelas Bahaya DOT | Kelas 2.2 |
| Barang | Nilai, gred I | Nilai, gred II | Unit |
| Ketulenan | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluorokarbon lain | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Keasidan | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *fluorokarbon lain merujuk kepada C2F6C3F8 | |||
Nota
1) semua data teknikal yang ditunjukkan di atas adalah untuk rujukan anda.
2) spesifikasi alternatif dialu-alukan untuk perbincangan lanjut.