Бүтээгдэхүүнүүд
Нүүрстөрөгчийн тетрафторид
Тетрафторметан буюу нүүрстөрөгчийн тетрафторид нь хамгийн энгийн фтор нүүрстөрөгч (CF4) юм. Энэ нь нүүрстөрөгч-фторын холбооны шинж чанараас шалтгаалан маш өндөр холболтын бат бэхтэй байдаг. Үүнийг мөн галогеналкан эсвэл галометан гэж ангилж болно. Олон нүүрстөрөгч-фторын холбоо, фторын хамгийн өндөр цахилгаан сөрөг чанараас шалтгаалан тетрафторметан дахь нүүрстөрөгч нь мэдэгдэхүйц эерэг хэсэгчилсэн цэнэгтэй бөгөөд энэ нь нэмэлт ионы шинж чанарыг бий болгосноор дөрвөн нүүрстөрөгч-фторын холбоог бэхжүүлж, богиносгодог. Тетрафторметан бол хүчтэй хүлэмжийн хий юм.
Тетрафторметаныг заримдаа бага температурт хөргөгч болгон ашигладаг. Үүнийг электроникийн бичил үйлдвэрлэлд дангаар нь эсвэл хүчилтөрөгчтэй хослуулан цахиур, цахиурын давхар исэл, цахиурын нитридийг плазмын исэлдүүлэгч болгон ашигладаг.
| Химийн томъёо | CF4 | Молекулын жин | 88 |
| CAS дугаар | 75-73-0 | EINECS дугаар | 200-896-5 |
| Хайлах цэг | -184℃ | Болингийн цэг | -128.1℃ |
| уусах чанар | Усанд уусдаггүй | Нягтрал | 1.96г/см³ (-184℃) |
| Гадаад төрх | Өнгөгүй, үнэргүй, шатдаггүй, шахагддаг хий | Аппликейшн | янз бүрийн интеграл хэлхээнд плазмын сийлбэр хийх процесст ашигладаг бөгөөд лазер хий, хөргөгч гэх мэт болгон ашигладаг. |
| DOT дугаар | НҮБ 1982 он | DOT/IMO ТЭЭВРЭЛТИЙН НЭР: | Тетрафторметан, шахсан эсвэл хөргөлтийн хий R14 |
| DOT-ийн аюулын ангилал | 2.2-р анги |
| Зүйл | Үнэ цэнэ, I зэрэг | II зэрэглэлийн үнэ цэнэ | Нэгж |
| Цэвэр ариун байдал | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Бусад фтор нүүрсустөрөгч | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Хүчиллэг чанар | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *бусад фтор нүүрсустөрөгч нь C-г хэлнэ2F6C3F8 | |||
Тэмдэглэл
1) Дээр дурдсан бүх техникийн өгөгдөл нь таны лавлагаанд зориулагдсан болно.
2) өөр тодорхойлолтыг цаашид хэлэлцэхийг урьж байна.
