Продукциялар
Көмүртектин тетрафториди
Тетрафторметан, ошондой эле көмүртек тетрафториди деп да аталат, эң жөнөкөй фторкөмүртек (CF4). Көмүртек-фтор байланышынын мүнөзүнө байланыштуу ал өтө жогорку байланыш күчүнө ээ. Аны галоалкан же галометан катары да классификациялоого болот. Көптөгөн көмүртек-фтор байланыштарынан жана фтордун эң жогорку электр терстигинен улам, тетрафторметандагы көмүртек олуттуу оң парциалдык зарядга ээ, ал кошумча иондук мүнөз берүү менен төрт көмүртек-фтор байланышын күчөтөт жана кыскартат. Тетрафторметан - күчтүү парник газы.
Тетрафторметан кээде төмөнкү температурадагы муздаткыч катары колдонулат. Ал электроника микрофабрикасында жалгыз же кычкылтек менен бирге кремний, кремний диоксиди жана кремний нитриди үчүн плазмалык эриткич катары колдонулат.
| Химиялык формула | CF4 | Молекулярдык салмак | 88 |
| CAS № | 75-73-0 | EINECS № | 200-896-5 |
| Эрүү температурасы | -184℃ | Болинг чекити | -128.1℃ |
| эригичтиги | Сууда эрибейт | Тыгыздык | 1.96 г/см³ (-184℃) |
| Көрүнүшү | Түссүз, жытсыз, күйбөй турган, кысылуучу газ | Колдонмо | ар кандай интегралдык микросхемалар үчүн плазмалык оюу процессинде колдонулат, ошондой эле лазердик газ, муздаткыч ж.б. катары колдонулат. |
| DOT идентификациялык номери | БУУ 1982 | DOT/IMO ЖЕТКИРҮҮНҮН АТЫ: | Тетрафторметан, кысылган же муздаткыч газ R14 |
| DOT коркунуч классы | 2.2-класс |
| Буюм | Баасы, I класс | II даражадагы баалуулук | Бирдик |
| Тазалык | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Башка фторкөмүртектүү заттар | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Кычкылдуулук | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *башка фторкөмүртектүү заттар Cге тиешелүү2F6C3F8 | |||
Эскертүүлөр
1) жогоруда көрсөтүлгөн бардык техникалык маалыматтар сиздин маалыматыңыз үчүн.
2) альтернативдүү спецификация андан ары талкуулоо үчүн кубатталат.
