Ürünler
Karbon Tetraflorür
Tetraflorometan, diğer adıyla karbon tetraflorür, en basit florokarbondur (CF4). Karbon-flor bağının doğası gereği çok yüksek bir bağ gücüne sahiptir. Ayrıca haloalkan veya halometan olarak da sınıflandırılabilir. Çoklu karbon-flor bağları ve florun en yüksek elektronegatifliği nedeniyle, tetraflorometandaki karbon, dört karbon-flor bağını güçlendiren ve kısaltan önemli bir pozitif kısmi yüke sahiptir; bu da ek iyonik karakter sağlar. Tetraflorometan güçlü bir sera gazıdır.
Tetraflorometan bazen düşük sıcaklık soğutucu olarak kullanılır. Elektronik mikrofabrikasyonda tek başına veya oksijenle birlikte silikon, silikon dioksit ve silikon nitrür için plazma aşındırıcı olarak kullanılır.
| Kimyasal formül | CF4 | Moleküler ağırlık | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Erime noktası | -184℃ | Boling noktası | -128,1℃ |
| çözünürlük | Suda çözünmez. | Yoğunluk | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
| Dış görünüş | Renksiz, kokusuz, yanıcı olmayan, sıkıştırılabilir bir gaz. | Başvuru | Çeşitli entegre devreler için plazma aşındırma işleminde kullanılır ve ayrıca lazer gazı, soğutucu akışkan vb. olarak da kullanılır. |
| DOT Kimlik Numarası | BM1982 | DOT/IMO NAKLİYE ADI: | Tetraflorometan, Sıkıştırılmış veya Soğutucu Gaz R14 |
| DOT Tehlike Sınıfı | Sınıf 2.2 |
| Öğe | Değer, I. sınıf | Değer, II. sınıf | Birim |
| Saflık | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Diğer florokarbonlar | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | — | ppmv |
| Asitlik | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *Diğer florokarbonlar C'ye atıfta bulunur.2F6,C3F8 | |||
Notlar
1) Yukarıda belirtilen tüm teknik veriler referans amaçlıdır.
2) Alternatif özellikler daha fazla görüşmeye açıktır.
