
O tetrafluorometano, também conhecido como tetrafluoreto de carbono, é o fluorocarbono mais simples (CF₄). Possui uma força de ligação muito alta devido à natureza da ligação carbono-flúor. Também pode ser classificado como um haloalcano ou halometano. Devido às múltiplas ligações carbono-flúor e à alta eletronegatividade do flúor, o carbono no tetrafluorometano apresenta uma carga parcial positiva significativa, que fortalece e encurta as quatro ligações carbono-flúor, conferindo-lhe um caráter iônico adicional. O tetrafluorometano é um potente gás de efeito estufa.
O tetrafluorometano é por vezes utilizado como refrigerante a baixas temperaturas. É empregado na microfabricação de componentes eletrônicos, isoladamente ou em combinação com oxigênio, como agente de corrosão por plasma para silício, dióxido de silício e nitreto de silício.
| Fórmula química | CF4 | Peso molecular | 88 |
| Nº CAS | 75-73-0 | Número EINECS | 200-896-5 |
| Ponto de fusão | -184℃ | Ponto de Boling | -128,1℃ |
| solubilidade | Insolúvel em água | Densidade | 1,96 g/cm³ (-184 °C) |
| Aparência | Um gás incolor, inodoro, não inflamável e compressível. | Aplicativo | Utilizado no processo de gravação a plasma para diversos circuitos integrados, e também como gás laser, refrigerante, etc. |
| Número de identificação DOT | ONU 1982 | NOME DE ENVIO DOT/IMO: | Tetrafluorometano, gás comprimido ou refrigerante R14 |
| Classe de Perigo DOT | Classe 2.2 |
| Item | Valor, grau I | Valor, grau II | Unidade |
| Pureza | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Outros fluorocarbonos | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | — | ppmv |
| Acidez | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *outros fluorocarbonos referem-se a C2F6、C3F8 | |||
Notas
1) Todos os dados técnicos indicados acima são para sua referência.
2) Especificações alternativas são bem-vindas para discussão posterior.