
Tetrafluorometana, juga dikenal sebagai karbon tetrafluorida, adalah fluorokarbon (CF4) paling sederhana. Ia memiliki kekuatan ikatan yang sangat tinggi karena sifat ikatan karbon-fluorin. Ia juga dapat diklasifikasikan sebagai haloalkana atau halometana. Karena banyaknya ikatan karbon-fluorin, dan elektronegativitas fluorin yang tertinggi, karbon dalam tetrafluorometana memiliki muatan parsial positif yang signifikan yang memperkuat dan memperpendek empat ikatan karbon-fluorin dengan memberikan karakter ionik tambahan. Tetrafluorometana adalah gas rumah kaca yang ampuh.
Tetrafluorometana terkadang digunakan sebagai pendingin suhu rendah. Senyawa ini digunakan dalam fabrikasi mikro elektronik, baik sendiri maupun dikombinasikan dengan oksigen sebagai bahan etsa plasma untuk silikon, silikon dioksida, dan silikon nitrida.
| Rumus kimia | CF4 | Berat molekuler | 88 |
| Nomor CAS | 75-73-0 | Nomor EINECS | Telepon 200-896-5 |
| Titik lebur | -184℃ | Titik didih | -128,1℃ |
| kelarutan | Tidak larut dalam air | Kepadatan | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
| Penampilan | Gas yang tidak berwarna, tidak berbau, tidak mudah terbakar, dan dapat dikompresi. | Aplikasi | Digunakan dalam proses etsa plasma untuk berbagai sirkuit terpadu, dan juga digunakan sebagai gas laser, pendingin, dll. |
| Nomor ID DOT | PBB 1982 | NAMA PENGIRIMAN DOT/IMO: | Tetrafluorometana, Gas Terkompresi atau Gas Pendingin R14 |
| Klasifikasi Bahaya DOT | Kelas 2.2 |
| Barang | Nilai, kelas I | Nilai, kelas II | Satuan |
| Kemurnian | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Fluorokarbon lainnya | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Keasaman | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *fluorokarbon lainnya mengacu pada C2F6,C3F8 | |||
Catatan
1) Semua data teknis yang tercantum di atas adalah untuk referensi Anda.
2) Spesifikasi alternatif dipersilakan untuk didiskusikan lebih lanjut.