
เตตระฟลูออโรมีเทน หรือที่รู้จักกันในชื่อคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ เป็นฟลูออโรคาร์บอนที่ง่ายที่สุด (CF4) มันมีแรงยึดเหนี่ยวสูงมากเนื่องจากลักษณะของพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีน นอกจากนี้ยังสามารถจัดอยู่ในกลุ่มฮาโลอัลเคนหรือฮาโลมีเทนได้อีกด้วย เนื่องจากมีพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีนหลายพันธะ และฟลูออรีนมีค่าอิเล็กโทรเนกาติวิตีสูงที่สุด คาร์บอนในเตตระฟลูออโรมีเทนจึงมีประจุบวกบางส่วนจำนวนมาก ซึ่งช่วยเสริมความแข็งแรงและทำให้พันธะคาร์บอน-ฟลูออรีนทั้งสี่สั้นลงโดยการเพิ่มลักษณะไอออนิก เตตระฟลูออโรมีเทนเป็นก๊าซเรือนกระจกที่มีศักยภาพสูง
เตตระฟลูออโรมีเทนบางครั้งใช้เป็นสารทำความเย็นอุณหภูมิต่ำ นอกจากนี้ยังใช้ในการผลิตไมโครชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์โดยใช้เพียงอย่างเดียวหรือใช้ร่วมกับออกซิเจนเป็นสารกัดเซาะพลาสมาสำหรับซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ และซิลิคอนไนไตรด์
| สูตรเคมี | ซีเอฟ4 | น้ำหนักโมเลกุล | 88 |
| หมายเลข CAS | 75-73-0 | หมายเลข EINECS | 200-896-5 |
| จุดหลอมเหลว | -184℃ | จุดเดือด | -128.1℃ |
| ความสามารถในการละลาย | ไม่ละลายในน้ำ | ความหนาแน่น | 1.96 กรัม/ซม³ (-184℃) |
| รูปร่าง | ก๊าซไม่มีสี ไม่มีกลิ่น ไม่ติดไฟ และอัดได้ | แอปพลิเคชัน | ใช้ในกระบวนการกัดด้วยพลาสมาสำหรับวงจรรวมต่างๆ และยังใช้เป็นก๊าซเลเซอร์ สารทำความเย็น ฯลฯ อีกด้วย |
| หมายเลขประจำตัว DOT | สหประชาชาติ 1982 | ชื่อเรือตาม DOT/IMO: | เตตระฟลูออโรมีเทน อัด หรือก๊าซทำความเย็น R14 |
| ระดับความเสี่ยง DOT | คลาส 2.2 |
| รายการ | คุณค่า เกรด I | คุณค่า ระดับ 2 | หน่วย |
| ความบริสุทธิ์ | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | พีพีเอ็มวี |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | พีพีเอ็มวี |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | พีพีเอ็มวี |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | พีพีเอ็มวี |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | พีพีเอ็มวี |
| ฟลูออโรคาร์บอนอื่นๆ | ≤1.0 | ≤0.5 | พีพีเอ็มวี |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | พีพีเอ็มวี |
| H2 | ≤1.0 | —— | พีพีเอ็มวี |
| ความเป็นกรด | ≤0.1 | ≤0.1 | พีพีเอ็มวี |
| *ฟลูออโรคาร์บอนอื่นๆ หมายถึง C2F6ซี3F8 | |||
หมายเหตุ
1) ข้อมูลทางเทคนิคทั้งหมดที่ระบุไว้ข้างต้นนี้ใช้สำหรับการอ้างอิงเท่านั้น
2) ยินดีรับพิจารณาข้อกำหนดทางเลือกอื่นๆ เพื่อนำไปหารือเพิ่มเติม