टेट्राफ्लुरोमिथेन, ज्याला कार्बन टेट्राफ्लुराइड असेही म्हणतात, हा सर्वात साधा फ्लुरोकार्बन (CF4) आहे. कार्बन-फ्लुरिन बंधाच्या स्वरूपामुळे त्याची बंधशक्ती खूप जास्त असते. त्याचे वर्गीकरण हॅलोअल्केन किंवा हॅलोमिथेन म्हणूनही केले जाऊ शकते. अनेक कार्बन-फ्लुरिन बंध आणि फ्लुरिनच्या सर्वोच्च इलेक्ट्रोनेगेटिव्हिटीमुळे, टेट्राफ्लुरोमिथेनमधील कार्बनवर एक लक्षणीय धन आंशिक प्रभार असतो, जो अतिरिक्त आयनिक गुणधर्म प्रदान करून चार कार्बन-फ्लुरिन बंधांना मजबूत आणि लहान करतो. टेट्राफ्लुरोमिथेन हा एक शक्तिशाली हरितगृह वायू आहे.

टेट्राफ्लुरोमिथेनचा वापर कधीकधी कमी तापमानाचे रेफ्रिजरंट म्हणून केला जातो. इलेक्ट्रॉनिक्स मायक्रोफॅब्रिकेशनमध्ये याचा वापर एकट्याने किंवा ऑक्सिजनसोबत सिलिकॉन, सिलिकॉन डायऑक्साइड आणि सिलिकॉन नायट्राइडसाठी प्लाझ्मा इचंट म्हणून केला जातो.

नोंदी
१) वर नमूद केलेली सर्व तांत्रिक माहिती तुमच्या संदर्भासाठी आहे.
२) पुढील चर्चेसाठी पर्यायी तपशील स्वागतार्ह आहे.