Các sản phẩm
Cacbon tetrafluorua
Tetrafluoromethane, còn được gọi là carbon tetrafluoride, là fluorocarbon đơn giản nhất (CF4). Nó có độ bền liên kết rất cao do bản chất của liên kết carbon-flo. Nó cũng có thể được phân loại là haloalkan hoặc halomethane. Do có nhiều liên kết carbon-flo và độ âm điện cao nhất của flo, carbon trong tetrafluoromethane mang điện tích dương riêng phần đáng kể, giúp tăng cường và rút ngắn bốn liên kết carbon-flo bằng cách cung cấp thêm đặc tính ion. Tetrafluoromethane là một khí nhà kính mạnh.
Tetrafluoromethane đôi khi được sử dụng làm chất làm lạnh ở nhiệt độ thấp. Nó được sử dụng trong chế tạo vi mạch điện tử, riêng lẻ hoặc kết hợp với oxy, như một chất ăn mòn plasma cho silicon, silicon dioxide và silicon nitride.
| Công thức hóa học | CF4 | Khối lượng phân tử | 88 |
| Số CAS | 75-73-0 | Mã số EINECS. | 200-896-5 |
| Điểm nóng chảy | -184℃ | Điểm boling | -128,1℃ |
| độ hòa tan | Không tan trong nước | Tỉ trọng | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
| Vẻ bề ngoài | Một loại khí không màu, không mùi, không bắt lửa và có thể nén được. | Ứng dụng | Được sử dụng trong quy trình khắc plasma cho nhiều mạch tích hợp khác nhau, và cũng được sử dụng làm khí laser, chất làm lạnh, v.v. |
| Mã số định danh DOT | Liên Hợp Quốc 1982 | TÊN VẬN CHUYỂN THEO QUY ĐỊNH DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, Khí nén hoặc Khí làm lạnh R14 |
| Phân loại nguy hiểm của DOT | Lớp 2.2 |
| Mục | Giá trị, loại I | Giá trị, hạng II | Đơn vị |
| Độ tinh khiết | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Các hợp chất flo cacbon khác | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Độ axit | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *Các hợp chất flo cacbon khác đề cập đến C2F6,C3F8 | |||
Ghi chú
1) Tất cả các dữ liệu kỹ thuật nêu trên chỉ mang tính chất tham khảo.
2) Chúng tôi hoan nghênh các đề xuất thông số kỹ thuật thay thế để thảo luận thêm.
