제품
사불화탄소
테트라플루오로메탄(사불화탄소)은 가장 간단한 불소화탄소(CF4)입니다. 탄소-불소 결합의 특성상 결합력이 매우 강합니다. 할로알칸 또는 할로메탄으로 분류되기도 합니다. 여러 개의 탄소-불소 결합과 불소의 높은 전기음성도 때문에 테트라플루오로메탄의 탄소는 상당한 양의 부분 전하를 띠게 되며, 이는 네 개의 탄소-불소 결합을 강화하고 길이를 줄여 이온성을 증가시킵니다. 테트라플루오로메탄은 강력한 온실가스입니다.
테트라플루오로메탄은 저온 냉매로 사용되기도 합니다. 또한 전자제품 미세가공에서 단독으로 또는 산소와 함께 실리콘, 이산화규소, 질화규소의 플라즈마 에칭제로 사용됩니다.
| 화학식 | CF4 | 분자량 | 88 |
| CAS 번호 | 75-73-0 | EINECS 번호 | 200-896-5 |
| 녹는점 | -184℃ | 볼링 포인트 | -128.1℃ |
| 용해도 | 물에 녹지 않음 | 밀도 | 1.96g/cm³(-184℃) |
| 모습 | 무색, 무취, 불연성, 압축 가능한 기체 | 애플리케이션 | 다양한 집적 회로의 플라즈마 에칭 공정에 사용되며, 레이저 가스, 냉매 등으로도 사용됩니다. |
| DOT ID 번호 | UN1982 | DOT/IMO 배송 명칭: | 테트라플루오로메탄, 압축 또는 냉매 가스 R14 |
| 미국 교통부 위험 등급 | 클래스 2.2 |
| 목 | 가치, 1등급 | 가치, 2등급 | 단위 |
| 청정 | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| 기타 불소탄소 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| 신맛 | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *기타 불소화탄소는 C를 의미합니다.2F6,기음3F8 | |||
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