Mahsulotlar
Uglerod tetraflorid
Tetrafluorometan, shuningdek, uglerod tetrafluoridi sifatida ham tanilgan, eng oddiy ftoruglerod (CF4). Uglerod-ftor bog'lanishining tabiati tufayli u juda yuqori bog'lanish kuchiga ega. Uni galoalkan yoki galometan deb ham tasniflash mumkin. Ko'p uglerod-ftor bog'lanishlari va ftorning eng yuqori elektromanfiyligi tufayli tetrafluorometan tarkibidagi uglerod sezilarli musbat qisman zaryadga ega, bu esa qo'shimcha ion xarakterini berish orqali to'rtta uglerod-ftor bog'lanishini kuchaytiradi va qisqartiradi. Tetrafluorometan kuchli issiqxona gazidir.
Tetrafluorometan ba'zan past haroratli sovutgich sifatida ishlatiladi. U elektronika mikrofabrikasida yakka o'zi yoki kislorod bilan birgalikda kremniy, kremniy dioksidi va kremniy nitridi uchun plazma aşındırıcı sifatida ishlatiladi.
| Kimyoviy formula | CF4 | Molekulyar og'irlik | 88 |
| CAS raqami | 75-73-0 | EINECS raqami | 200-896-5 |
| Erish nuqtasi | -184℃ | Boling nuqtasi | -128.1℃ |
| eruvchanlik | Suvda erimaydi | Zichlik | 1.96 g/sm³ (-184 ℃) |
| Tashqi ko'rinish | Rangsiz, hidsiz, yonmaydigan, siqiladigan gaz | Ilova | turli xil integral mikrosxemalar uchun plazma o'yib ishlov berish jarayonida ishlatiladi, shuningdek, lazer gazi, sovutgich va boshqalar sifatida ham ishlatiladi. |
| DOT identifikatsiya raqami | BMT 1982 | DOT/IMO YETKAZIB BERISH NOMI: | Tetraflorometan, siqilgan yoki sovutgichli gaz R14 |
| DOT xavf sinfi | 2.2-sinf |
| Mahsulot | Qiymat, I daraja | Qiymat, II daraja | Birlik |
| Poklik | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Boshqa ftorokarbonlar | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Kislotaligi | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *boshqa ftorokarbonlar C ga tegishli2F6C3F8 | |||
Izohlar
1) Yuqorida ko'rsatilgan barcha texnik ma'lumotlar sizning ma'lumotnomangiz uchun.
2) muqobil spetsifikatsiya keyingi muhokama uchun ma'qul.
