
Tetrafluorometana, uga dikenal minangka karbon tetrafluorida, minangka fluorokarbon (CF4) sing paling prasaja. Iki nduweni kekuatan ikatan sing dhuwur banget amarga sifat ikatan karbon-fluorin. Iki uga bisa diklasifikasikake minangka haloalkana utawa halometana. Amarga ikatan karbon-fluorin sing akeh, lan elektronegativitas fluorin sing paling dhuwur, karbon ing tetrafluorometana nduweni muatan parsial positif sing signifikan sing nguatake lan nyepetake papat ikatan karbon-fluorin kanthi menehi karakter ionik tambahan. Tetrafluorometana minangka gas omah kaca sing kuat.
Tetrafluorometana kadhangkala digunakake minangka refrigeran suhu endhek. Iki digunakake ing mikrofabrikasi elektronik dhewe utawa digabungake karo oksigen minangka etsa plasma kanggo silikon, silikon dioksida, lan silikon nitrida.
| Formula kimia | CF4 | Bobot molekul | 88 |
| Nomer CAS | 75-73-0 | Nomer EINECS | 200-896-5 |
| Titik leleh | -184℃ | Titik didih | -128.1℃ |
| kelarutan | Ora larut ing banyu | Kapadhetan | 1.96g/cm³(-184℃) |
| Penampilan | Gas sing ora ana warnane, ora ana ambune, ora gampang kobong, lan bisa dikompres | Aplikasi | digunakake ing proses etsa plasma kanggo macem-macem sirkuit terpadu, lan uga digunakake minangka gas laser, refrigeran, lan liya-liyane. |
| Nomer ID DOT | PBB1982 | Jeneng Pangiriman DOT/IMO: | Tetrafluorometana, Gas Terkompresi utawa Refrigeran R14 |
| Kelas Bahaya DOT | Kelas 2.2 |
| Barang | Nilai, kelas I | Nilai, kelas II | Unit |
| Kasucian | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluorokarbon liyane | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Kaasaman | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *fluorokarbon liyané nuduhake C2F6C3F8 | |||
Cathetan
1) kabeh data teknis sing dituduhake ing ndhuwur mung kanggo referensi sampeyan.
2) spesifikasi alternatif ditampa kanggo diskusi luwih lanjut.