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四フッ化炭素
テトラフルオロメタン（四フッ化炭素とも呼ばれる）は、最も単純なフッ素系炭化水素（CF4）です。炭素-フッ素結合の性質上、非常に強い結合力を持っています。ハロアルカンまたはハロメタンに分類されることもあります。複数の炭素-フッ素結合とフッ素の極めて高い電気陰性度により、テトラフルオロメタンの炭素原子は大きな正の部分電荷を帯びており、これがイオン性を高めることで4つの炭素-フッ素結合を強化し、結合距離を短くしています。テトラフルオロメタンは強力な温室効果ガスです。
テトラフルオロメタンは、低温冷媒として使用されることがある。また、電子機器の微細加工において、単独で、あるいは酸素と組み合わせて、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素のプラズマエッチング剤として使用される。
| 化学式 | CF4 | 分子量 | 88 |
| CAS番号 | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| 融点 | -184℃ | ボリングポイント | -128.1℃ |
| 溶解度 | 水に不溶 | 密度 | 1.96g/cm³（-184℃） |
| 外観 | 無色無臭で不燃性の圧縮可能なガス | 応用 | 各種集積回路のプラズマエッチング工程で使用されるほか、レーザーガス、冷媒などとしても使用される。 |
| DOT ID番号 | 国連1982年 | DOT/IMO船荷名: | テトラフルオロメタン、圧縮ガスまたは冷媒ガスR14 |
| DOT危険物分類 | クラス2.2 |
| アイテム | 価値、グレードI | 価値、グレードII | ユニット |
| 純度 | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| その他のフッ素系化合物 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| 酸度 | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *その他のフルオロカーボンはCを指します2F6、C3F8 | |||
注記
1) 上記の技術データはすべて参考情報です。
2) さらなる議論のために、代替仕様案も歓迎します。
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