Продукты
Тетрафторид углерода
Тетрафторметан, также известный как тетрафторид углерода, является простейшим фторуглеродом (CF4). Он обладает очень высокой прочностью связи благодаря природе связи углерод-фтор. Его также можно классифицировать как галогеналкан или галометан. Из-за множества связей углерод-фтор и самой высокой электроотрицательности фтора, углерод в тетрафторметане имеет значительный положительный частичный заряд, который усиливает и укорачивает четыре связи углерод-фтор, придавая им дополнительный ионный характер. Тетрафторметан является мощным парниковым газом.
Тетрафторметан иногда используется в качестве низкотемпературного хладагента. Он применяется в микропроизводстве электроники как отдельно, так и в сочетании с кислородом в качестве плазменного травителя для кремния, диоксида кремния и нитрида кремния.
| Химическая формула | CF4 | Молекулярная масса | 88 |
| Номер CAS. | 75-73-0 | Номер EINECS. | 200-896-5 |
| Температура плавления | -184℃ | Болинг-пойнт | -128,1℃ |
| растворимость | Нерастворим в воде | Плотность | 1,96 г/см³ (-184℃) |
| Появление | Бесцветный, без запаха, негорючий, сжимаемый газ. | Приложение | Используется в процессе плазменного травления различных интегральных схем, а также в качестве лазерного газа, хладагента и т. д. |
| Идентификационный номер DOT | ООН1982 | Наименование груза по классификации DOT/IMO: | Тетрафторметан, сжатый или хладагент R14 |
| Класс опасности DOT | Класс 2.2 |
| Элемент | Ценность, класс I | Стоимость, класс II | Единица |
| Чистота | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Другие фторуглероды | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Кислотность | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *другие фторуглероды обозначаются буквой С2F6、С3F8 | |||
Примечания
1) Все указанные выше технические данные приведены для вашего означения.
2) Альтернативные варианты спецификации приветствуются для дальнейшего обсуждения.
