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tetrafluoruro de carbono
El tetrafluorometano, también conocido como tetrafluoruro de carbono, es el fluorocarbono más simple (CF₄). Posee una alta fuerza de enlace debido a la naturaleza del enlace carbono-flúor. También se clasifica como haloalcano o halometano. Debido a los múltiples enlaces carbono-flúor y a la elevada electronegatividad del flúor, el carbono del tetrafluorometano presenta una importante carga parcial positiva que fortalece y acorta los cuatro enlaces carbono-flúor, aportando un carácter iónico adicional. El tetrafluorometano es un potente gas de efecto invernadero.
El tetrafluorometano se utiliza a veces como refrigerante de baja temperatura. Se emplea en la microfabricación de componentes electrónicos, solo o en combinación con oxígeno, como agente de grabado por plasma para silicio, dióxido de silicio y nitruro de silicio.
| Fórmula química | CF4 | Peso molecular | 88 |
| Número CAS | 75-73-0 | Número EINECS | 200-896-5 |
| Punto de fusión | -184℃ | Punto de ebullición | -128,1 ℃ |
| solubilidad | Insoluble en agua | Densidad | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Apariencia | Un gas incoloro, inodoro, no inflamable y compresible | Solicitud | Se utiliza en el proceso de grabado por plasma para diversos circuitos integrados, y también como gas láser, refrigerante, etc. |
| Número de identificación del DOT | ONU 1982 | NOMBRE DE ENVÍO DOT/IMO: | Tetrafluorometano, gas comprimido o refrigerante R14 |
| Clase de peligro del DOT | Clase 2.2 |
| Artículo | Valor, grado I | Valor, grado II | Unidad |
| Pureza | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Otros fluorocarbonos | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | — | ppmv |
| Acidez | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *Otros fluorocarbonos se refieren a C2F6,DO3F8 | |||
Notas
1) Todos los datos técnicos indicados anteriormente son para su referencia.
2) Se aceptan especificaciones alternativas para su posterior discusión.
