Àwọn ọjà
Erogba Tetrafluoride
Tetrafluoromethane, tí a tún mọ̀ sí erogba tetrafluoride, ni fluorocarbon tí ó rọrùn jùlọ (CF4). Ó ní agbára ìsopọ̀ gíga nítorí ìrísí ìsopọ̀ carbon-fluorine. A tún lè pín in sí haloalkane tàbí halomethane. Nítorí ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìsopọ̀ carbon-fluorine, àti electronegativity tí ó ga jùlọ ti fluorine, erogba nínú tetrafluoromethane ní agbára ìpín rere tí ó ṣe pàtàkì tí ó ń fún àwọn ìsopọ̀ carbon-fluorine mẹ́rin lágbára àti kúrú nípa fífún wọn ní ànímọ́ ionic afikún. Tetrafluoromethane jẹ́ gaasi eefin tí ó lágbára.
A maa n lo Tetrafluoromethane gege bi ohun elo tutu otutu kekere. A maa n lo o ninu ise ina elekitironiki nikan tabi ni apapo pelu oxygen gege bi ohun elo ti o n se atunse plasma fun silikoni, silikoni dioxide, ati silikoni nitride.
| Fọ́múlà kẹ́míkà | CF4 | Ìwúwo molikula | 88 |
| Nọmba CAS. | 75-73-0 | Nọmba EINECS | 200-896-5 |
| Oju iwọn yo | -184℃ | Aaye Boling | -128.1℃ |
| iyọ | Àìyókù nínú omi | Ìwọ̀n | 1.96g/cm³(-184℃) |
| Ìfarahàn | Gáàsì tí kò ní àwọ̀, tí kò ní òórùn, tí kò lè jóná, tí a lè fúnpọ̀ | Ohun elo | a lo ninu ilana fifin plasma fun ọpọlọpọ awọn iyika ti a ti sopọ, a si tun lo bi gaasi lesa, firiji ati bẹbẹ lọ. |
| Nọ́mbà ìdánimọ̀ DOT | UN1982 | ORÚKỌ ÌRÒJÚ DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, Gaasi ti a fi sinu tabi ti a fi firiji R14 |
| Kíláàsì Ewu DOT | Kilasi 2.2 |
| Ohun kan | Iye, ìpele I | Iye, ìpele II | Ẹyọ kan |
| Ìwà mímọ́ | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Àwọn fluorocarbons míràn | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Àsídì | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *àwọn fluorocarbons mìíràn tọ́ka sí C2F6,C3F8 | |||
Àwọn Àkíyèsí
1) gbogbo data imọ-ẹrọ ti a tọka si loke wa fun itọkasi rẹ.
2) Àwọn ìlànà mìíràn ni a gbà fún ìjíròrò síwájú síi.
