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कार्बन टेट्राफ्लोराइड
टेट्राफ्लोरोमेथेन, जिसे कार्बन टेट्राफ्लोराइड भी कहा जाता है, सबसे सरल फ्लोरोकार्बन (CF4) है। कार्बन-फ्लोरिन बंध की प्रकृति के कारण इसकी बंधन शक्ति बहुत अधिक होती है। इसे हैलोएल्केन या हैलोमेथेन के रूप में भी वर्गीकृत किया जा सकता है। कई कार्बन-फ्लोरिन बंधों और फ्लोरिन की उच्चतम विद्युतऋणात्मकता के कारण, टेट्राफ्लोरोमेथेन में कार्बन पर एक महत्वपूर्ण धनात्मक आंशिक आवेश होता है, जो अतिरिक्त आयनिक गुण प्रदान करके चारों कार्बन-फ्लोरिन बंधों को मजबूत और छोटा करता है। टेट्राफ्लोरोमेथेन एक शक्तिशाली ग्रीनहाउस गैस है।
टेट्राफ्लोरोमेथेन का उपयोग कभी-कभी कम तापमान वाले रेफ्रिजरेंट के रूप में किया जाता है। इसका उपयोग इलेक्ट्रॉनिक्स माइक्रोफैब्रिकेशन में अकेले या ऑक्सीजन के साथ संयोजन में सिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड और सिलिकॉन नाइट्राइड के लिए प्लाज्मा एचेंट के रूप में किया जाता है।
| रासायनिक सूत्र | सीएफ4 | आणविक वजन | 88 |
| CAS संख्या। | 75-73-0 | ईआईएनईसी क्रमांक | 200-896-5 |
| गलनांक | -184℃ | क्वथनांक | -128.1℃ |
| घुलनशीलता | पानी में अघुलनशील | घनत्व | 1.96 ग्राम/सेमी³ (-184℃) |
| उपस्थिति | एक रंगहीन, गंधहीन, गैर-ज्वलनशील, संपीड़ित गैस | आवेदन | इसका उपयोग विभिन्न एकीकृत परिपथों के लिए प्लाज्मा एचिंग प्रक्रिया में किया जाता है, और इसका उपयोग लेजर गैस, रेफ्रिजरेंट आदि के रूप में भी किया जाता है। |
| डीओटी आईडी नंबर | यूएन1982 | DOT/IMO शिपिंग नाम: | टेट्राफ्लोरोमेथेन, संपीड़ित या प्रशीतित गैस R14 |
| डीओटी खतरा वर्ग | कक्षा 2.2 |
| वस्तु | मूल्य, ग्रेड I | मूल्य, ग्रेड II | इकाई |
| पवित्रता | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | पीपीएमवी |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | पीपीएमवी |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | पीपीएमवी |
| अन्य फ्लोरोकार्बन | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | पीपीएमवी |
| H2 | ≤1.0 | —— | पीपीएमवी |
| अम्लता | ≤0.1 | ≤0.1 | पीपीएमवी |
| *अन्य फ्लोरोकार्बन C को संदर्भित करते हैं2F6,सी3F8 | |||
नोट्स
1) ऊपर दर्शाए गए सभी तकनीकी आंकड़े आपके संदर्भ के लिए हैं।
2) वैकल्पिक विनिर्देशों पर आगे चर्चा के लिए स्वागत है।
