Produk
Karbon Tetrafluorida
Tetrafluorometana, katelah ogé karbon tetrafluorida, nyaéta fluorokarbon (CF4) anu paling saderhana. Éta ngagaduhan kakuatan beungkeut anu luhur pisan kusabab sifat beungkeut karbon-fluorin. Éta ogé tiasa digolongkeun salaku haloalkana atanapi halometana. Kusabab sababaraha beungkeut karbon-fluorin, sareng éléktronégativitas fluorin anu pangluhurna, karbon dina tetrafluorometana ngagaduhan muatan parsial positif anu signifikan anu nguatkeun sareng ngirangan opat beungkeut karbon-fluorin ku cara nyayogikeun karakter ionik tambahan. Tetrafluorometana mangrupikeun gas rumah kaca anu kuat.
Tetrafluorometana sakapeung dianggo salaku refrigeran suhu handap. Ieu dianggo dina mikrofabrikasi éléktronik nyalira atanapi digabungkeun sareng oksigén salaku etchant plasma pikeun silikon, silikon dioksida, sareng silikon nitrida.
| Rumus kimia | CF4 | Beurat molekul | 88 |
| Nomer CAS. | 75-73-0 | Nomer EINECS | 200-896-5 |
| Titik lebur | -184℃ | Titik didih | -128.1℃ |
| kalarutan | Teu leyur dina cai | Kapadetan | 1.96g/cm³（-184℃） |
| Penampilan | Gas anu teu warnaan, teu bau, teu gampang kaduruk, jeung bisa dikomprés | Aplikasi | dianggo dina prosés étsa plasma pikeun rupa-rupa sirkuit terpadu, sareng dianggo ogé salaku gas laser, refrigeran jsb. |
| Nomer ID DOT | PBB1982 | Ngaran Pangiriman DOT/IMO: | Tetrafluorometana, Gas Kompresi atanapi Refrigeran R14 |
| Kelas Bahaya DOT | Kelas 2.2 |
| Barang | Nilai, kelas I | Nilai, kelas II | Unit |
| Kamurnian | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluorokarbon séjén | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Kaasaman | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *fluorokarbon séjénna nujul kana C2F6、C3F8 | |||
Catetan
1) sadaya data téknis anu dituduhkeun di luhur kanggo rujukan anjeun.
2) spésifikasi alternatif wilujeng sumping kanggo diskusi salajengna.
