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tétrafluorure de carbone
Le tétrafluorométhane, également appelé tétrafluorure de carbone, est le fluorocarbure le plus simple (CF₄). Sa très grande force de liaison est due à la nature de la liaison carbone-fluor. Il peut également être classé comme haloalcane ou halométhane. En raison des multiples liaisons carbone-fluor et de l'électronégativité élevée du fluor, le carbone du tétrafluorométhane porte une charge partielle positive importante, ce qui renforce et raccourcit les quatre liaisons carbone-fluor en leur conférant un caractère ionique accru. Le tétrafluorométhane est un puissant gaz à effet de serre.
Le tétrafluorométhane est parfois utilisé comme fluide frigorigène à basse température. Il est employé seul ou en combinaison avec de l'oxygène dans la microfabrication électronique, comme agent de gravure plasma pour le silicium, le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium.
| formule chimique | CF4 | Poids moléculaire | 88 |
| N° CAS | 75-73-0 | Numéro EINECS | 200-896-5 |
| Point de fusion | -184℃ | Point de Boling | -128,1℃ |
| solubilité | Insoluble dans l'eau | Densité | 1,96 g/cm³ (-184 °C) |
| Apparence | Un gaz incolore, inodore, ininflammable et compressible | Application | utilisé dans le procédé de gravure plasma pour divers circuits intégrés, et également utilisé comme gaz laser, réfrigérant, etc. |
| Numéro d'identification DOT | ONU 1982 | NOM D'EXPÉDITION DOT/IMO : | Tétrafluorométhane, gaz comprimé ou réfrigérant R14 |
| Classe de danger DOT | Classe 2.2 |
| Article | Valeur, grade I | Valeur, grade II | Unité |
| Pureté | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Autres fluorocarbures | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Acidité | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *Les autres fluorocarbures se réfèrent au C2F6、C3F8 | |||
Notes
1) Toutes les données techniques indiquées ci-dessus sont données à titre de référence.
2) Toute autre spécification est la bienvenue pour une discussion plus approfondie.
